北京科创鼎新真空技术有限公司

科学实验设备

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等离子体放电装置

等离子体放电装置

产品详情

技术参数：

1．抽气速率：主泵600L/s，机械泵4升/s；

2．设计标准限值：5.0x10-5Pa；

3．使用真空度：≤5.0x10-2Pa；

4．冷却方式：自然冷却；

5．真空腔体：直径300mm，高度400mm，304不锈钢，顶部开门；

6．观察窗：正对方向200mm；

7．四路气体接口；

8．质量流量计：2台质量流量计，一台控制显示器，流量100ml/分钟；

9．六路真空航插接口。

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