主要技术指标
1.空载极限压力（120分钟内达到）：优于5e-4 Pa。
2.充气5 sccm(氙气、氪气）下工作压力: ≤1.0e-3 Pa。
3.真空腔体材质：304不锈钢。
4.真空腔体内壁有效空间≥Φ800 mm x 1000 mm，采用卧式圆柱型。
5.真空腔门2个，分别在腔体两端，为铰链式大门。
6.舱内照明装置。
7.腔体上部可安装石英玻璃腔，主要用于放置电喷雾系统，易于观测。
8.工质气体系统：气压控制范围1KPa—30KPa，控制精度0.5%；压阻真空仪表测量精度。5%-10%；
9.质量流量控制：两套流量控制系统，流量范围0~10 sccm，流量精度1%，供给氙气、氪气等。供气管为橡胶软管，内部接推力器管路为硅胶软管。
10.表面处理：内外表面电解抛光处理。
11.系统漏率：1.0x10-12Pa·m³/s。
真空腔放气率：2.6x10-9Pa·m³/s。
京公网安备 11011402012516号
在线客服
400-188-1915 / 185-1082-6675
bjkcvac@sina.com
