产品详情
技术参数：
2.1主要配置：无油涡旋干式真空泵1台；质量流量计1台；流量调节阀1台；减压器1台；控制系统1套；管路系统1套。
2.2真空泵：涡旋干泵抽速45m³/h，接口KF40；
2.3流量计：采用厚礼博S4933型号产品，量程0-100SCCM，精度1%；
2.4对于用户腔室接口要求：KF40；
2.5流量调节阀：电动，KF40接口；
2.6控制系统：西门子PLC控制器，PLC控制，触摸屏操作；
2.7控压：3.0E-3Pa至大气压，显示精度0.1Pa，控压精度±0.5-5Pa可控，用户可在触摸屏设置气压参数，系统默认执行，自动调节充气和抽空；
2.8真空规：测量范围13000Pa至0.1Pa（可调），精度0.25%；
2.9充气：配置电磁阀门与流量计配合充气，气体介质为氩气；
2.10真空计：ZDZ-52T电阻真空计，ZJ-52T规管，测量精度35%。
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